確定性超精密加工是什么?。
超精密加工機(jī)床的高確定性取決于對(duì)影響精度性能的各環(huán)節(jié)因數(shù)的控制這些控制品質(zhì)常常要求達(dá)到當(dāng)代科技的極限如機(jī)床運(yùn)動(dòng)部件(導(dǎo)軌主軸等)極高的運(yùn)動(dòng)精度和可控性(如摩擦阻尼品質(zhì));機(jī)床坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)極高的分辨率測(cè)量精度cnc機(jī)加工工廠(chǎng)和穩(wěn)定性;運(yùn)動(dòng)伺服控制系統(tǒng)極高的動(dòng)靜態(tài)加工軌跡跟蹤精細(xì)CNC加工和定位控制精度等<此外,還要求數(shù)控系統(tǒng)具有高性能的多軸實(shí)時(shí)控制及數(shù)據(jù)處理能力;機(jī)床本體的高剛性高穩(wěn)定性和優(yōu)良的振動(dòng)阻尼;為了防止環(huán)境振動(dòng)和加丁中機(jī)床姿態(tài)微小變化的影響,機(jī)床還需安裝隔振精密自動(dòng)水平調(diào)整機(jī)構(gòu)等環(huán)境因數(shù)對(duì)超精密加工影響巨大。特別是大型超精密加工機(jī)床環(huán)境控制極為嚴(yán)苛除了控制地基振動(dòng),對(duì)機(jī)床本體液體溫度控制,環(huán)境空氣流場(chǎng)溫度控制,以現(xiàn)有的科技手段,無(wú)論要求多高都不為過(guò),甚至聲場(chǎng)及任何可能對(duì)機(jī)床狀態(tài)產(chǎn)生微小擾動(dòng)的因數(shù)都要進(jìn)行嚴(yán)格控制(見(jiàn)圖16(c)和圖16(d))。
答數(shù)控加工廠(chǎng)發(fā)現(xiàn)它的定位原理是精.密線(xiàn)紋尺固定在工作臺(tái)上,并作為滑扳和工作臺(tái)移動(dòng)的長(zhǎng)度基準(zhǔn),通過(guò)系列光學(xué)系統(tǒng)裝置,將線(xiàn)紋尺的線(xiàn)紋間距放大,并成像在光屏上,當(dāng)移動(dòng)工作臺(tái)時(shí),被放大的線(xiàn)紋尺上的刻線(xiàn)也在光屏中移動(dòng),這樣在光屏中的分劃板上即可準(zhǔn)確地測(cè)定工作臺(tái)移動(dòng)的間隔。答感應(yīng)同步器是利用電磁感應(yīng)原理,即當(dāng)兩導(dǎo)體的相對(duì)位置改變時(shí),它們的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)隨之變化。感應(yīng)同步器定位裝置中的標(biāo)尺固定在床身上,滑尺固定在工作臺(tái)或滑板上。標(biāo)尺上的線(xiàn)圈連成條,滑尺的線(xiàn)圈在中間分為兩段,相互錯(cuò)開(kāi)1/4間距。
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